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[促銷] 雙頻激光干涉儀ZLM700(ZLM700)

雙頻激光干涉儀ZLM700
供應商參考報價:面議
  供應商信息
· 上海貝丁漢工業自動化設備有限公司 [上海市]
   
聯系人: 李先生
所在城市: 上海市 上海
詳細地址: 上海市莘奉公路4956號
聯系我們 更多產品 進入商鋪
  
產品參數  
品牌: 德國耶拿爾
型號: ZLM700
產品用途: 機床檢測
詳細信息  

產品功能
     定位精度、重復定位精度、位移距離測量、速度加速度測量、線性度、直線度、垂直度、平面度、偏擺角、俯仰角、滾動角、角速度、圓形軌跡、微振動測量,還能夠測量數控機床回轉臺的定位精度和重復定位精度等,從而實現定位、校準、控制和補償。ZLM700主要用于單軸系統的校準和測量,廣泛應用于高速動態加工工藝中的機械定位和系統控制。

性能優勢

l          真正意義上的雙頻激光干涉儀,頻差為640MHz。請用戶注意“激光干涉儀”和“雙頻激光干涉儀”的區別。眾所周知雙頻激光干涉儀精度更好、性能更穩定。世界范圍內只有兩家雙頻激光干涉儀的生產商,德國耶拿爾公司是其中的一家。
l          全部部件皆在德國生產制造,絕非為了降低成本而在第三方國家進行部件加工。光學組件全部采用蔡司光學鏡,是世界上***一家將***的蔡司光學鏡用于激光干涉儀領域的產品制造商。
l          測量系統采用模塊化設計,各種測量功能之間互不影響。若用戶先期只需要干涉儀的部分功能(如僅測量直線度),則僅采購所需功能部分的光學部件(直線度光學鏡),其他不需要的功能暫時可以不采購;若后期有其他功能的需求,補充采購功能對應的部件即可。
l          激光器壽命更長,可達20000小時,激光穩頻精度高,一小時內為±0.002ppm,在產品壽命內可達±0.02ppm。
l          干涉鏡采用差分干涉原理,系統精度更高,可達±0.4ppm
l          計算機輔助光路調整,調整結果更準確。
l          采樣頻率更快,***高達1MHz,可在0.001Hz-1MHz之間進行選擇。
l          被測物體***大速度16m/s(可選);采用高精度AE950 PCI數據處理器,分辨率達0.6nm(當移動速度為1m/s時,線性分辨率更可高達為0.1nm)。
l          無加速度限制;當光線微弱時,性能也十分穩定。
l          信號延時<200ns;對電磁干擾不敏感。
l          對于多軸聯動的復雜光路測量和微位移測量,請選用ZLM800型雙頻激光干涉儀,***多可實現六軸聯動

工作原理
專利型ZLM700激光干涉儀使用氦氖激光器,采用雙頻外差式工作模式。激光穩頻精度為+/-0.002ppm640MHz的頻差用于信號處理。這種高頻處理信號能夠對高速物體進行測量,不會出現干擾誤差,信號延時時間極短。
采用光纖電纜,把來自干涉鏡的信號傳輸到計算機卡槽連接的電子計數器上,避免了外部電磁環境對測量信號的干擾。因此,ZLM700雙頻激光干涉儀特別適用于惡劣的生產環境、標準化實驗室和高真空環境。

技術參數
 

 

型號:ZLM700
使用高性能數據處理器AE950 PCI
He-Ne激光平均波長:
632.8 nm
激光穩頻精度:
一小時2x10-9±0.002ppm
壽命內2x10-8±0.02ppm
系統精度(0-40℃時):
±0.4ppm
光束直徑:
6mm (可選3.2mm)
激光管突發***大輸出功率:
1mW (激光等級2)
每束光可測量的軸數:
1
線性測量距離:
40m,可擴展為120m
角度測量范圍:
± 15°20m軸線范圍
平面度測量范圍:
20m行程
直線度測量范圍:
± 5mm,2m10m行程,
選用角度干涉儀可測30m行程
垂直度測量范圍:
± 5mm,2m10m行程,
30m行程需用角度干涉儀
***大速度:
4m/s可選16m/s
80rad/s,角速度
***大加速:
無限制
***高采樣頻率:
內部1MHz,外部40MHz
預熱時間:
10分鐘
精度/非線性:
±0.3nm (角隅反射鏡)
±0.1nm (平面反射鏡)
距離測量分辨率:
0.6nm (角隅反射鏡)
0.3nm (平面反射鏡)
0.1nm 可選
距離測量精度:
(20°±0.5°) 使用AUK
(20°±0.5°) 真空中時
 
±0.4ppm (μ/m)
±0.08 (±0.02)ppm (μ/m)
線性度測量分辨率:
0.6nm (角隅反射鏡)
0.3nm (平面反射鏡)
0.1nm 可選
線性度測量精度:
(20°±0.5°) 使用AUK
(20°±0.5°) 真空中時
 
±0.4ppm (μ/m)
±0.08 (±0.02)ppm (μ/m)
速度測量精度:
±0.5ppm實測值
角度測量分辨率:
0.015μrad (3x10-3 弧秒)
角度測量精度:
±0.1ppm實測值
平面度測量分辨率:
0.015μrad (3x10-3 弧秒)
平面度測量精度:
±0.2%實測值
±0.05 弧度/米運行距離
直線度測量分辨率:
36nm,10m行程
7.25nm2m行程
直線度測量精度:
±0.5%實測值,2m行程
± 2.5%實測值,10m行程
垂直度測量分辨率:
36nm,10m行程
7.25nm2m行程
垂直度測量精度:
±0.5%實測值2m± 0.5弧秒*
±2.5%實測值10m± 0.5弧秒*
數據接口:
積分信號
32 Bit (
實時時間)
Dt » 20 ns
數據分析標準:
ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA
工作環境:
溫度:15°C-30°C
濕度:<90%無冷凝
儲存環境:
溫度:10°C-40°C
濕度:<95%無冷凝


 

 

應用光路圖


以上為直線度測量示意圖,包括水平方向直線度和垂直方向直線度


以上是平面度測量示意圖


以上是垂直度測量示意圖

 
以上是位移、線性度、速度、加速度、定位精度測量示意圖


以上是對角測量示意圖

 
以上是俯仰角測量示意圖


以上是偏擺角測量示意圖


以上是滾動角測量示意圖


以上是回轉臺定位精度測量示意圖

資料下載
耶拿爾雙頻激光干涉儀樣本(中文).pdf
激光干涉儀說明書(中文).pdf

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