世界范圍內，同類產品中效率***高的干涉儀。
三軸外差式微振動檢測激光干涉儀，用于位移、俯仰角和偏擺角的三角關系測量 高靈活性調整模塊，適用于所有數控機床的參數的測量 動態測量***大速度4m/s，實時顯示三個軸的測量數據 小型反射鏡，帶有磁性固定裝置 適用于筆記本電腦、PCI和PXI中線，與網絡兼容 位移測量標準分辨率為1nm，角度測量分辨率為0.01" 使用高精度溫度傳感器，系統精度可達50nm/m 可拓展為6軸測量 外部觸發***大頻率為40MHz快速調整也適用于3D 所有3軸實時數據測量，無延時 ***多可擴展到6軸 小型反射鏡 外部***大觸發頻率40MHz
由本公司代理，德國耶拿爾JENAer測量技術公司生產的雙頻激光干涉儀，是世界上***一家將***的蔡司光學鏡用于激光干涉儀領域的制造商。該公司的雙頻激光干涉儀，不僅能夠精確的測量數控機床的幾何量，如線性度、直線度、垂直度、角度、平面度等，還能夠測量數控機床的回轉量等。多軸干涉儀儀更可測量和檢測物體的微位移、擺動振動情況、工作臺的運動情況等。
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